SEM

Nella tecnica SEM, Scanning Electron Microscopy, un fascio di elettroni colpisce il campione che si vuole osservare; il fascio non ่ fisso ma viene fatto scansire. Dal campione vengono emesse numerose particelle tra cui elettroni secondari, che vengono rilevati da uno speciale rivelatore e convertiti in impulsi elettrici.

TEM

Nella tecnica TEM, Transmission Electron Microscopy, gli elettroni che costituiscono il fascio attraversano completamente il campione. Questo, dunque, deve avere uno spessore ridotto, compreso tra 5 e 500 nm. Il potere d'ingrandimento arriva fino a un milione di volte.

AFM

La tecnica AFM, Atomic Force Microscopy, ่ basata sulla misura delle forze deboli (nanoNewtons) che sono presenti tra una punta sottile e gli atomi alla superficie di un campione. La punta ่ posizionata su un braccio flessibile, cantilever, ad una distanza dalla superficie inferiore al nanometro, quando il campione viene traslato lungo il piano x-y al di sotto della punta, tra superficie e punta si manifestano forze attrattive o repulsive con una conseguente deflessione della punta nella direzione z. Dalla misura dell'entitเ della deflessione si ricostruisce la morfologia superficiale. [26]